プログラムの詳細

システムデザインポスターセッション 《ナノテクノロジー・材料》
ポスター番号7
テーマスプレー熱分解法によって成膜された酸化物透明導電膜の評価
キーワード透明導電膜 、スプレー熱分解法 、ZnO 、TiO2 、還元熱処理
専 修
所属研究室等
ヒューマンメカトロニクスシステム
電子物性研究室
発表者佐藤 優一 (サトウ ユウイチ)(前2 G2)
指導教員菅原宏治 准教授
概要スプレー熱分解法を用いてZnO,TiO2を成膜し、電気的・光学的特性の評価及び膜の表面評価を行った。ZnOでは、最適化による電気的特性の向上、TiO2では各種のドーピングによる構造的特性を報告する。
概要詳細
概要詳細 (Adobe PDF 139kB)